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大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用專為半導體行業設計，用于芯片封裝、晶圓制造設備、集成電路模塊等大型半導體產品的環境可靠性測試

產品型號：WTH-A
廠商性質：生產廠家
更新時間：2025-08-01
訪問量：304

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詳細介紹

生產廠家廣東皓天檢測儀器有限公司擁有專業的生產研發技術，一站式周到服務。作為一家專注于試驗設備產品的大型儀器制造商，皓天設備致力于為消費者提供技術、品質的優秀產品。

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

產品性能

采用無塵級風道設計，氣流經 HEPA 高效過濾后層流輸送（風速 0.3~0.5m/s），避免塵埃污染半導體器件。溫濕度過渡響應時間≤5 分鐘，在 - 40℃~125℃循環測試中，溫度超調量≤0.5℃。設備可連續運行 5000 小時，測試數據重復性，確保芯片漏電率、封裝應力等關鍵參數檢測的精準性。

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

核心優勢

超高控制精度：溫度波動度達 ±0.2℃，濕度控制精度 ±1% RH，滿足半導體器件對微環境變化的嚴苛敏感需求。

無塵環境兼容：內部采用 316L 不銹鋼鏡面內膽，配備高效除塵系統，符合半導體行業無塵測試標準。

抗干擾設計：電氣系統采用電磁屏蔽技術，避免溫濕度控制模塊對半導體器件的電磁干擾，測試過程中信號噪聲≤-90dB。

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

產品優勢

行業定制化：工作室可集成防靜電地面（電阻 10?~10?Ω）、氮氣保護接口，適配半導體產品的特殊測試需求。

能效優化：采用變頻制冷壓縮機與熱回收技術，在 85℃/85% RH 工況下能耗較傳統機型降低 30%，符合半導體行業綠色生產要求。

安全冗余：配備氣體泄漏檢測、超溫聯鎖保護、緊急斷電系統，通過 SEMI S2 安全認證，保障高價值半導體器件的測試安全。

用途

專為半導體行業設計，用于芯片封裝、晶圓制造設備、集成電路模塊等大型半導體產品的環境可靠性測試?？赡M無塵車間溫濕度波動、運輸過程氣候、長期運行高濕環境等場景，評估半導體器件的電學性能穩定性、材料耐老化性及封裝密封性，滿足 JEDEC JESD22-A101、IPC-9701 等行業標準，為半導體產品的研發、量產質檢提供數據支撐。

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

技術參數

溫度范圍：-70℃~150℃（覆蓋半導體全生命周期測試溫區）；

濕度范圍：5%~95% RH，波動度 ±1% RH，均勻性≤2% RH；

溫度波動度 ±0.2℃，均勻性≤1℃；

工作室容積：30~300m3（可容納完整晶圓傳送系統）；

升降溫速率：0.1~5℃/min（支持步進式精密調節）；

潔凈等級：Class 1000（內部塵埃粒子≤3520 particles/m3@0.5μm）；

電源：380V/50Hz（配備穩壓電源，電壓波動≤±1%）。

大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用

溫度控制系統

采用半導體級 PLC 控制系統，搭配 10 英寸防菌觸摸屏，支持 2000 段可程式運行，內置 JEDEC 標準測試模板。搭載 16 點分布式鉑金電阻傳感器（精度 ±0.05℃），結合 PID + 模糊控制算法，實現納米級溫度調節響應。系統具備與 MES 系統對接功能，支持實時數據加密上傳、遠程監控及測試流程追溯，滿足半導體行業數據合規要求。

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大型步入式恒溫恒濕試驗箱半導體行業用專為半導體行業設計，用于芯片封裝、晶圓制造設備、集成電路模塊等大型半導體產品的環境可靠性測試

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